DUV Laser - Deep UltraViolet Laser

 

Der kontinuierliche DUV-Laser          - technologische Neuheit - absolute Spitzenwerte! 

 

·       Im tiefen UV: 266 nm, kontinuierlicher Laser in Industriequalität.   

·       Höchste Strahlqualität: Single Mode transversal und longitudinal, schmalbandig.

·       Extrem stabile Strahleigenschaften, niederes Rauschen.

·       vollautomatischer Ausgleich von Instabilitäten, kein Shiften erforderlich.  

·       Beste Referenzen durch existierende OEM-Industrieanwendungen.

·       Reiner Halbleiterlaser, ohne Lampen, ohne Wasseranschluss, qualifizierter Service.  

Anwendungs-Beispiele

·    DVD Master-Erzeugung der übernächsten Generation,

    Gitterstrukturerzeugung für LWL-Endstücke

·     UV-Holografie, Erzeugung Diffraktiver Optiken, DUV-Mikroskopie,

    Ersatz für UV-Ionenlaser

·     Partikel-Erkennung auf Wafer und Maske,

    Reticle-Inspektion präzisester Art, Oberflächenscanner

·    UV-Belichtung hoher Geschwindigkeit u. Präzision,

    Direkt-Schreiber für Masken und Wafer, Lithografie

·    Interferometrie, Scanner,

    Präzisions-Messtechnik für Geometrie, Durchfluss, Analyse

·    Fluoreszenz-Spektroskopie, Protein-Analyse, DUV-Beleuchtung, F+E,

    qualifizierte Anwendungsberatung durch Laser Star  

 

Für die neueste Generation Halbleiter in Fernost ist dieser Laser einer der wichtigsten SchLÜSSEL

in Produktion und in Qualitätssicherung !

 

 

Spezifikationen

Spezifikationen: Typ LS266-10S Typ LS266-20S

Typ LS266-100S

Ausgangsleistung, cw 10 mW 20 mW

100 mW

(gemessen: 120 mW)

Wellenlänge 266,0 nm +/- < 0,01 nm
Strahldurchmesser 0,8 +/- 0,2 mm
Strahldivergenz 1/e2 < 0,4 mrad (halber Winkel)
Strahlprofil-Exzentrizität < 10 %
Strahlqualität M2 < 1,2 (gemessen: 1,0 !), TEMoo
Rauschen RIN=r P2/p2

besser als -110 dB/Hz (100 kHz ... 2 MHz)

Stabilität RMS < 0,3 %
Langzeitstabilität < +/- 3 % /h (nach >2 h Aufwärmen)
Satelliten neben Strahl vertikal: keine, horiz.: 1x typ. < 15 % Amplitude
Pointing Stabilität < +/- 20 µrad /°C (gemessen < 10 µrad )
Polarisation linear, 100:1, s-Vektor horizontal
Bandbreite ca. 14 kHz (ca. 1 km Kohärenzlänge)
Betriebstemperatur

20 ... 25 °C bei 20 bis 70 % rel. Luftfeuchte

Lagertemperatur

10 ... 35 °C bei 0 bis 50 % rel. Luftfeuchte

Spülgas permanent

Luft 0,4 l/min., Reinheit nach Spezifikation

Reinraumklasse Umgebung: < 10.000, Lasergerät: Klasse < 1.000
Einbaulage horizontal,  +/- 5°
Strahlaustrittshöhe 87 +/- 1 mm (siehe Zeichnung)
Ununterbrochene Betriebsdauer

3.000 h ohne  Nachjustage / Shiften

Abmessung Kopf/ Netzteil

480 x 419 x 165 mm / 300 x 400 x 150 mm

Abmessungen Bedienteil 280 x 55 x 71 mm
Gewicht Laserkopf / Netzt.  ca. 28 kg / 10 kg

Leistungsaufnahme

< 260 W bei 100...240 V, 50/60 Hz (typ. 120 W)

Wärmeabgabe ca. 20 W vom Laserkopf an Umgebung
Zertifikate

CE, Lasersicherheitsklasse 4, EN60825-1, 

EN61010-1 A1+A2, weitere auf Anfrage

 

 

Richten Sie bitte Ihre Anfrage an: 

LASER STAR GmbH, Anzengruber Str. 1, D-82140 Olching, Deutschland

Tel. +49-8142-49908 , Fax +49-8142-49909, Email: sales@laser-star.de   

 

oder senden Sie eine E-Mail unter Kontakt.     Stand: Juni 2009                 zur Produkt-Übersicht            Druckversion